壓電物鏡定位器應用于激光晶圓切割

激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器調整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

P76系列壓電物鏡定位器可快速調節聚焦點即加工點的位置，使其在目標切割位置，聚焦行程可達110μm，分辨率可達2.5nm。

P76系列壓電物鏡定位器為大負載Z軸運動壓電物鏡定位器，負載能力可達500g，Z軸直線運動范圍可達110μm，采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦，直線性好，閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡。

<<特點

• 大行程110μm

• 大承載500g

• 毫秒級響應時間

• 閉環重復定位精度高電

• 聚焦穩定性好  

<<大負載、高頻響、高分辨率

P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到快的階躍時間。它極其堅固的設計提供了非常快的穩定時間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅動器的旋轉對稱排列及撓曲和杠桿元件的優化設計，使它具有較高的剛度，同時保證了優異的導向精度和動態性。

P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節臺相結合使用。

<<頻率負載曲線

<<開/閉環曲線（帶載500g）

<<螺紋適配器便于安裝

P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。

<<技術參數