P31系列壓電偏轉鏡

P31 俯仰/ 偏轉鏡系統可提供光束偏轉角度達50mrad，這種偏轉鏡系統是基于成熟的平行運動學設計，兩個運動軸為垂直共面軸且具有共同的固定點，具有高分辨率及高定位精度等特點。

特點

· θx, θy 二維偏轉

· 大偏轉范圍25mrad

· 亞毫秒響應時間

· 閉環定位精度高

· 溫度穩定性高

高可靠性及長壽命、高穩定性及動態性

P31 系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩定性及可靠性。

壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。

先進的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化，允許25mrad 的大角度俯仰/ 偏轉范圍（可將光束偏轉50mrad），且具有非?？斓捻憫俣?，在毫秒級范圍。

除了大偏轉角度及高動態，P31 還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現了的位置控制，具有優異的重復定位精度，通常為滿行程的0.2%。

驅動原理

壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現，采用橋式連接電路控制。

頻率負載曲線

閉環定位精度

偏轉角度測量

激光準直儀測量P31.T25S 壓電偏轉鏡的偏轉行程范圍。

帶載階躍時間

P31.T25S 壓電偏轉鏡帶載60g 負載，達到滿行程偏轉角度的階躍時間約100ms。

閉環曲線