壓電陶瓷驅動柔性鉸鏈機構實現超精密定位

近年來，隨著科學技術的發展，在半導體、精密測量、超精密加工和納米技術等領域對定位精度有著越來越嚴苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺作為技術。

為了實現納米級的精密定位，需要高精度的驅動方式和傳動方式，使定位臺達到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅動元件，柔性鉸鏈機構作為傳動裝置構成超精密定位系統可實現納米級精密定位。

芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機構的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機構中的應用，實現高分辨率以及大位移行程。

柔性鉸鏈機構結構緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

芯明天壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。

產品應用

超精密測量

采用芯明天壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實驗。

超精密機械加工

壓電納米定位臺帶動刀具微納米級進給，從而實現光學非球面、微結構及模具納米級超精密加工。