芯明天超高精度P21壓電旋轉臺

芯明天新推出P21系列壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺，產品體積小巧，大旋轉角度8.5mrad，承載能力達2kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。

特性

·θz旋轉

·大旋轉角度8.5mrad

·閉環定位精度高

·體積小巧

典型應用

·光路調整

·光束掃描

·干涉/計量

小體積、高分辨率、高精度

P21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理，可以實現大8.5mrad的旋轉，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。

采用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構，無摩擦、無回差，可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

技術參數

P21.R7S

運動自由度：θz

標稱旋轉角度（0~120V）：6mrad（~1200秒）   

大旋轉角度（-20~150V） ：8.5mrad（~1700秒）

傳感器類型：SGS

閉環分辨率：0.4μrad（~0.08秒）

閉環線性度：0.5%F.S.

閉環重復定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

運動方向剛度：1N/μm

空載諧振頻率：1.1kHz

大承載：2kg

靜電容量：1.8μF

材質：鋁

重量：105g

應用實例

P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉定位操作。

推薦控制器

P21為θz一維壓電旋轉臺，單通道壓電控制器即可驅動控制，閉環版本P21推薦配套E01系列閉環控制器，實現θz高精度旋轉定位控制。

E01.D1壓電控制器

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機通信、模擬、旋鈕控制