壓力傳感器及電容式壓力傳感器工作原理

電容式壓力傳感器 簡介：

    科學技術的不斷發展極大地豐富了壓力測量產品的種類，現在，壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應變式傳感器zui為多見。

   金屬應變式壓力傳感器是一種歷史較長的壓力傳感器，但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點，其應用場合受到了很大的限制。

    壓阻式傳感器是利用半導體壓阻效應制造的一種新型的傳感器，它具有制造方便，成本低廉等特點，但由于半導體材料對溫度極為敏感，所以其性能受溫度影響較大，產品的一致性較差。 

     電容式壓力傳感器是應用zui廣泛的一種壓力傳感器，其原理十分簡單。一個無限大平行平板電容器的電容值可表示為：

C= ε s/d（ε 為平行平板間介質的介電常數，d 為極板的間距， s 為極板的覆蓋面積） 

    改變其中某個參數，即可改變電容量。由于結構簡單，幾乎所有電容式壓力傳感器均采用改變間隙的方法來獲得可變電容。電容式傳感器的初始電容值較小，一般為幾十皮法，它極易受到導線電容和電路的分布電容的影響，因而必須采用*的電子線路才能檢測出電容的微小變化。可以說，一個好的電容式壓力傳感器應該是可變電容設計和信號處理電路的結合。