探針臺操作說明

探針臺操作說明目錄

1、探針臺的功能  4
2、探針臺硬件結構  5
3、各部件的具體使用方法  6
4、常見故障維護與支持 16

   
1、探針臺的功能
（1）集成電路失效分析
（2）晶圓可靠性認證
（3）元器件特性量測
（4）塑性過程測試(材料特性分析)
（5）制程監控
（6）IC封裝階段打線品質測試
（7）液晶面板的特性測試
（8）印刷線路板的電性測試
（9）低噪音/低電流測試
（10）微波量測(高頻)
（11）太陽能電池領域檢測分析
（12）發光二極管領域檢測分析
 (13) 納米器件結構測試

  
2、探針臺硬件結構
（1）完整探針臺系統
  

                                                                              3.各部件使用方法
●探針臺主要操作說明
3.1， 移動顯微鏡前后方向 : 松開門型橫梁左下側松緊固旋鈕，拉動旋鈕前后移動

3.2微鏡左右方向 : 松開門型橫梁顯微鏡移動緊固旋鈕，拉動顯微鏡移動桿左右移動

3.3 
顯微鏡焦距調整旋鈕(粗調/細調)

3.4 顯微鏡光源亮度調整(微調)

3.4，調整針座載臺位置。松開針座載臺緊固螺絲，把載臺左右移動到合適位置后固定

                      
 
3.5 針座(磁性反轉底座)結構說明

● 防震系統
調整防震桌四個腳座高度,使用水平儀測量是否在水平位置

3調整防震氣囊壓力為40~60psi

防震氣囊壓力表40~60psi
                      

3.調整防震氣囊水平調整螺栓往上調整,使防震桌防震氣囊高度大于支撐stage軟墊2mm,使用水平儀測量是否在水平位置

Pic23/圖23

                     3. 將顯微鏡倍率切換到大,觀察影像是否會震動(以腳踏地板產生震動測試防震性能是否良好)
3.若持續有震動情形,請檢查周圍是否有震源產生或者相關機構有干擾及防震氣囊壓力過大

3. 所有設備務必接地良好,避免漏電及靜電干擾測試結果.

● 探針臺操作步驟：
1.將測試產品放入探針臺的臺盤上；
2. 打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）；
3.打開背光面板光源開關；
4.調整Z axis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK；
5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰；

●點針操作步驟：
1.
通過移動鏡頭組部分找到Sample 要下針的地方；
2. 調整針座位置，將三軸歸零；
3. 調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑*上方1-2mm處；
4. 利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野*位置并通過調整焦距使針尖達到清晰；
6.切換至高倍鏡頭，找到針尖；
7.利用針座的X-Y-Z 軸微調下針；
8.量測完畢后，逆時針旋轉針座的仰角機構的旋鈕快速將針往上抬起，針尖即可移開Sample；移動針座平臺或者顯微鏡相關移動機構時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞

9. 移開針座，取出Sample.

10.關閉背光面板光源和光源燈等電源.

PS：●兩種常見顯微鏡結構介紹：
A.體視顯微鏡配置：
Eye piece目鏡:高眼點超廣角目鏡一對.

高清晰度、高景深的立體圖像，變倍手輪雙側水平設置，變倍靈活舒適。

 升降機構： 燕尾導軌與齒輪齒條組合構成調焦機構.

上光源： 3瓦LED燈，亮度可調，角度可調.

眼罩：方便觀察的護眼罩一對。

CCD Mount攝像組件:

0.65X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

                0.35X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

B.  金相顯微鏡：
采用全新的一體化設計，操作簡單、方便，性能優異、可靠，
功能齊全，可廣泛應用于冶金、半導體、電子等行業的制造和研究領域。

符合人體工程學設計的顯微鏡頭部：

PSM-1000E雙目觀察頭可以在3 -30°轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

管鏡：

PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。

光路切換連桿：

通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察:

主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。
                                                                                    調焦機構：

調焦機構轉動舒適，工作可靠。調焦機構大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
                       
物鏡轉換器：

物鏡（選配件）：

物鏡采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優異的成像質量。

                   
攝像系統：

根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數碼攝像系統，就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。

Lighting system 照明系統：