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關(guān)于真空計(jì)的技術(shù)指標(biāo),一個是它的測量范圍,一個是它的測量精度。皮拉尼(電阻)真空計(jì),國內(nèi)的產(chǎn)品測量范圍上限是一個大氣壓,下限到0.1帕,精度為正負(fù)50%。國外的產(chǎn)品測量范圍上限是一個大氣壓,下限到0.01帕,精度為正負(fù)20%。冷陰極(電離)真空計(jì),目前國內(nèi)外的產(chǎn)品測量范圍上限一般都是1帕,精度為正負(fù)50%。
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