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    ALICAT質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品資料

    來源:北京漢默科技有限公司   2016年03月04日 10:00  

    一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

    150毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

    、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值。快速、可重復(fù)、穩(wěn)定!

    擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中,為zui快的質(zhì)量流量控制器!采用艾里卡特®的層流壓差流量測量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合,使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過您眨一下眼。

    2、操作便捷

    ?     50-100毫秒控制響應(yīng)

    ?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得zui的速度和穩(wěn)定性

    ?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

    ?     同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

    ?     瞬間啟動、無需預(yù)熱:1秒內(nèi)即可開始流量控制

    二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

    MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

    控制響應(yīng)zui快、zui穩(wěn)定的流量控制器。

    MCR 大流量系列

    控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

    MCW / MCRW 低壓損系列

    zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇;zui大量程:0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

    MCS / MCRS 耐腐蝕系列

    所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

    MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

    可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列

    MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

    *雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

    三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)

    ?     后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

    ?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

    ?     CSA認(rèn)證12區(qū) / ATEX認(rèn)證12區(qū)允許設(shè)備用于危險環(huán)境

    ?     9針或15D-Sub等連接接口可選

    ?     通訊模式有Modbus-RTURS-232RS-485PROFIBUS等可選

    ?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

    四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

    指標(biāo)

    質(zhì)量流量控制器

    量程

    0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM

    精度

    ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

    重復(fù)性

    ±0.2%

    量程比

    200:1

    響應(yīng)時間

    100ms

    標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

    25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

    溫度范圍

    -10~50

    零點(diǎn)漂移

    0.02

    量程漂移

    0.02

    濕度范圍

    0-

    測量流量范圍

    128%(過流率)

    zui大耐壓

    145psi

    輸出信號(數(shù)字)

    質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

    數(shù)字信號可選

    RS485,Modbus,Profibus

    輸出信號(模擬)

    質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

    模擬信號可選

    0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

    電氣連接

    8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定)

    供電電壓

    7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

    供電電流

    0.03(4-20mA輸出時為:0.05)

     

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