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MKS壓力計替換表
MKS 622/623/626系列壓力計
品牌 | MKS | Inficon英福康 | |
型號（系列） | 622A623A626A 622B623B626B | CDG025D | CDG025D-X3 抗腐蝕 |
量程（Torr） | 0.1,O.25,1,2,10, 20,100,500, 100OTorr可選 | 0.1,0.25,1,10 20,100,200，1000可選 | 0.1,0.25,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選 |
精度 | 讀值±0.25% | 讀值±2% | 讀值±2% |
法蘭接口 | 1/2管,8VCR,NW16 KF等 | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF |
電源要求 | ± 15V直流 | 14-30自適應直流 | 14-30V 自適應直流 |
MKS 627系列45℃壓力計
品牌 | MKS | Inficon英福康 |
型號（系列） | 627B，627C，627D | CDG045D |
量程（Torr） | 0.02,0.05,0.1,O.25,1, 2,10,20,100,500, 100OTorr等可選 | 0.1,0.25,0.5,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選 |
精度 | 讀值±0.12% | 讀值±0.15% |
法蘭接口 | 1/2管,8VCR,NW16 KF等 | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF |
通訊接口 | D型15腳 接線端子 | D-sub15腳 插座型 |
電源要求 | ± 15V或±24VDC 直流 | 14-30自適應直流或± 15V |
MKS 628系列100℃壓力計
品牌 | MKS | Inficon英福康 |
型號（系列） | 628B，628C，628D | CDG045D |
量程（Torr） | 0.05,0.1,O.25,1, 2,10,20,100,500, 100OTorr等可選 | 0.1,0.25,0.5,1,2,5,10 20,50,100,200, 500,1000可選 |
精度 | 讀值±0.25% | 讀值±0.2% |
法蘭接口 | 1/2管,8VCR,NW16 KF等 | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF |
通訊接口 | D型15腳 接線端子 | D-sub15腳 插座型 |
電源要求 | ± 15V或±24VDC 直流 | 14-30自適應直流或± 15V |
MKS 631系列高溫壓力計
品牌 | MKS | Inficon英福康 | |
型號（系列） | 631C/631D(150℃或200℃) | CDG160D（160℃） | CDG200D（200℃） |
量程（Torr） | 1,2,10,100,1000可選 | 1,2,5,10 20,50,100,200，500,1000可選 | 1,2,5,10 20,50,100,200，500,1000可選 |
精度 | 讀值±5% | 讀值±0.4% | 讀值±0.4% |
法蘭接口 | 1/2管,8VCR,NW16 KF等 | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF | 1/2管,8VCR，NW 16 KF,NW16 CF |
電源要求 | ± 15V直流 | 21-30V自適應直流或±15VDC | 21-30V 自適應直流或±15VDC |
MKS 722系列小尺寸壓力計
品牌 | MKS | Inficon英福康 |
型號（系列） | 722A,722B | CDG020D |
量程（Torr） | 1,2,10,20,100,250,500, 100OTorr等可選 | 10,20,50,100,200, 500,1000可選 |
精度 | 讀值±0.5% | 讀值±0.5%或1% |
法蘭接口 | 1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF等 | 1/2管,8VCR凹接頭,4VCR凹接頭,4VCR凸接頭,NW16 KF,NW16 CF |
通訊接口 | D型9腳 | D-sub 9腳 插頭型 |
電源要求 | ± 13V或±32VDC 直流 | 13-30V直流 |
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