S48 32/HMT說明書

1.3S48 32/HMT質量流量控制器(流量計)的特點

S48 32/HMT型質量流量控制器（流量計）是在Horiba-STEC引進技術基礎上，結合國內需要而研制的一種質量流量控制器產品。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

☆可任意位置安裝。

☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合工作。

技術指標

 安裝環境

本產品為室內使用產品，工作環境溫度為5～45℃，相對濕度40～60%。

應注意安裝環境遠離振動、塵埃、電磁干擾等。

要求使用的氣體潔凈、無水汽及凝結可能，如客戶使用強腐蝕性氣體需在訂

貨時說明。

開機操作

接通電源后，先預熱15 分鐘，再通氣工作，以保證測量的準確度。

比如：通電時，將閥控開關置于“關閉”位置并將設定電位器調到零，待零點穩定后，將閥控開關轉到“閥控”位，然后再將設定流量調到您需要的值，實際流量將跟蹤設定值而改變。

清洗與關閉功能

將閥控開關置為“清洗”位，閥將打開到zui大，如果氣路上下游存在工作壓差，將會有很大的氣流通過，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 內部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達該控制器額定滿量程流量的幾倍至十幾倍。

關機

斷電源后，氣流自動截止。推薦先關氣，后斷電源。