DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測試儀使用說明書

DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測試儀使用說明書

目 錄

1. 概述
2. 技術(shù)指示
3. 工作原理
4. 儀器結(jié)構(gòu)說明
5. 使用方法
6. 注意事項

一．概述

DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測試儀是四探針方塊電阻測試儀中的新一代產(chǎn)品，是一種依照類似國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計，專門測量半導(dǎo)體方塊電阻(或稱薄屋電阻、面電阻，單位Ω/□)的新型儀器。可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(如ITO透明導(dǎo)電氧化膜)……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點(diǎn)。

二．技術(shù)指標(biāo)

1. 測量范圍：

       按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：

1  1.00～199.99Ω/□；

2  10.0～1999.9Ω/□；

小分辨率：0.01Ω/□；

1. 恒流源：

測量過程誤差：≤±0.8%；

1. 模數(shù)轉(zhuǎn)換器：

量程：0～199.99mv；

分辨率：10μv；

方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；

1. 測量不確定度：

在整個量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5%；

1. 四探針頭：

間距：1mm或3.8mm可選,偏差：≤2%；

針間絕緣電阻≥500MΩ；

1. 電源：

9V疊層電池1節(jié)；

三．工作原理

如下圖(圖1)所示，將四根探針在同一直線上排列的探針以一定壓力垂直壓在被測樣品表面上，在1，4探針間通以電流I時，2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓降ΔV。

圖1

根據(jù)理論公式（見下），

  (Ω/□)

其中：

D:樣品直徑或長、寬度；

W：擴(kuò)散層或鍍膜層厚度；

S：探針間距；

F（D/S）：樣品直徑修正因子；

F（W/S）：樣品厚度修正因子；

Fsp：探針修正系數(shù)；

　　當(dāng)測量很薄的半導(dǎo)體雙面擴(kuò)散層或玻璃鍍層的方塊電阻時，被測材料可作類似無窮大，此時，公式中的F（D/S）=4.532；F（W/S）=1，選取探針間距S=1mm；則Fsp=1，這時就有：

   (Ω/□)

當(dāng)取測量電流I=4.532×10ⁿ(mA)時，即可從顯示屏直接讀取被測材料的方塊電阻。

四．儀器結(jié)構(gòu)說明

　　DL10-GT14-ST-21型手提式方塊電阻測試儀，由電氣主機(jī)和探頭(手提式或臺式均可)組成。兩部分用訊號電纜和接插件相連。

　　面板如下圖所示，顯示屏用于顯示測量的方塊電阻數(shù)據(jù)結(jié)果。面板及顯示屏指示標(biāo)志說明如下：

五．使用方法

1. 用連接電纜將探頭與方塊電阻測試儀主機(jī)連接好。
2. 測量時，將電源開關(guān)打開（開關(guān)下位）。如顯示屏LCD顯示“    ”時，表示電池欠壓，請予更換（更換電池方法，請參考“7”）。
3. 用探頭平壓在被測物上，即可測量。
4. 測量過程中，當(dāng)面板上“回路有效指示燈”LED發(fā)亮?xí)r，表示該次測量讀數(shù)有效，否則此次測量讀數(shù)無效。
5. 對大于10.0Ω/□的樣品，推薦使用2000.0Ω/□量程；使用200.00Ω/□量程時，如顯示屏顯示1，表示超量程請使用2000.0Ω/□量程檔。
6. 為了節(jié)約電池使用完成測量后，請將電源關(guān)閉（開關(guān)上位）。
7. 更換電池：將電源開關(guān)關(guān)閉（開關(guān)上位），打開機(jī)殼后的小蓋，重新裝上一節(jié)9V電池，然后裝回后蓋。
8. 長期不使用本儀器時，請將電池從機(jī)內(nèi)取出。

六．注意事項

1. 如果被測導(dǎo)電薄膜材料表面上不干凈，存在油污或材料暴露在空氣中時間過長，形成氧化層，會影響測試穩(wěn)定性和測試精度。在測試中需要引起注意。
2. 如探頭的探針存在油污等也會引起測試不穩(wěn)，此時可以把探頭在干凈的白紙上滑動幾下擦一擦可以了。