體積電阻率表面電阻率測量技術

表面電阻率的測量 
  表面電阻率定義為材料表面的電阻，并表明為歐姆（通常稱為方塊電阻）。其測量方法是將兩個電極放在檢驗樣品的表面，在電極之間施加一個電位差，并測量發作的電流。

轉換極性法  
  轉換極性法施加一個正極性的偏置電壓，然后在規矩的延遲時間后測量電流。接著將極性反向，經過一樣的延遲時間再測量電流。這種極性反轉進程可以重復盡情的次數。根據邇來的電流測量效果，按照加權均勻可以計算出電阻值。

偏置修改技術 
  在測量電阻率非常高的材料時，布景電流可以會致使測量差錯。布景電流可以是由材猜中儲存的電荷（介電吸收）、靜電或抵觸電的電荷或壓電效應致使的。布景電流可以等于或大于所加電壓源鼓舞出的電流。如果布景電流和測量的電流同極性，那么測量出的電流值將會比真值大得多。如果布景電流是反極性的，那么這種不希望有的電流可以會致使反極性的電流讀數。這就是說，電流的極性和所加電壓的極性相反，所以計算出的電阻將為負值。為了處置這個疑問，選用轉換極性和轉換電壓的方法實際上可以消除布景電流對樣品的影響。