真空機組是由多臺真空泵及附件組成的成套真空獲得設備。機組中一般有粗抽泵(預抽泵)、前級泵、主抽泵和維持泵。

粗抽泵從大氣壓開始降低系統壓力，一直運行到另一抽氣泵可以開始工作。前級泵是用來維持另一個真空泵的前級壓力在臨界前級壓力以下的真空泵，前級泵也可以作為粗抽泵用。有些真空泵對前級壓力有要求，必須配前級泵，以維持其前級壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開始工作，必須配粗抽泵，達到預真空要求才能開始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級泵才能正常工作。

主抽泵(主泵)是機組中抽速大、真空度高的真空泵，是真空機組獲得高真空度的真空泵。對于主泵來說，其他泵都可以算作其前級泵。

真空機組中有時氣體量很小，不能有效利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱為維持泵。維持泵的使用主要是從經濟環保的角度考慮的。

真空機組各組成泵之間取長補短、相互配合，在抽速和極限真空上都比單個的真空泵有很大提高。根據需要還可以啟動不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。

從使用方便、安全角度出發，真空機組一般都配有真空閥門、充氣閥、波紋管、機架、冷卻水管路、斷水保護、真空繼電器、電器控制設備等。

常用的真空機組有：羅茨水環真空機組，羅茨旋片真空機組，羅茨螺桿真空機組等。

羅茨螺桿真空機組是由羅茨泵作為機械增壓泵與初級泵串聯而成。羅茨泵是一種外壓縮、雙轉子容積式真空泵，轉子與轉子、轉子與泵腔壁無接觸，故可實現高速運轉，且不必潤滑，以實現無油抽氣過程。螺桿泵屬于內壓縮、容積式真空泵，工作時分為吸氣、壓縮、排氣三個過程。

羅茨螺桿真空機組具有以下優勢：

1.結構簡單，占地面積小。

2.耗水少，無需水處理設施。

3.無高壓蒸汽以及鍋爐系統等危險源。

4.從大氣壓到工藝真空，性能曲線平滑、連續可控，且在67Pa附近抽速穩定。

5.運行成本較低，節能*。

普諾克羅茨螺桿真空機組適合于醫藥，化工，電子等行業中需求環保，清潔的應用工藝。