在真空系統(tǒng)維修頂用戶頭疼的必然是檢測漏率問題了。漏分內(nèi)漏和外漏;外漏斗勁好檢測，內(nèi)漏則難辦些。外漏較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，操作氣流能使火焰偏離的道理，先抽上真空，用蠟燭在可疑點(diǎn)附近慢慢查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。內(nèi)漏則要從分歧真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空系統(tǒng)達(dá)到必然壓力值后，分袂啟動(dòng)卷繞和蒸發(fā)系統(tǒng)，察看普諾克真空泵計(jì)的讀數(shù)在短暫下降后有無爬升，可以初步判斷內(nèi)漏點(diǎn)標(biāo)的目的。

內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點(diǎn)的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，可是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速較著偏低，真空計(jì)示值低，機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件較著銹蝕等，具備以上條件根基可以揣度內(nèi)漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細(xì)查看通水管路有無潮濕點(diǎn)，潮濕處就是漏點(diǎn)。

可以操作在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反映敏感來檢漏，好比丙酮或乙醇，用打針器向可疑的處所噴射丙酮或乙醇，連系指針式真空計(jì)，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有較著擺動(dòng)，用這種方式檢漏必然要有耐心，要等到電離計(jì)的示值不變了，也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率均衡了，再噴射，反復(fù)幾回，確認(rèn)漏點(diǎn)。

　　在維修真空泵的時(shí)候切記不成操之過急，故障沒搞清楚就想當(dāng)然地開始動(dòng)手拆卸，會(huì)舊病未除又添新病，把本來簡單的問題搞復(fù)雜化了。