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    NS-X20-01X軸納米定位臺(tái)

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    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地天津市

    聯(lián)系方式:劉女士查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2022-10-29 12:53:19瀏覽次數(shù):183次

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    三英精控納米臺(tái)特點(diǎn)平:得益于的硬件設(shè)計(jì),有效地減少三維偶聯(lián)影響,保證納米臺(tái)全行程的平整度

    三英精控納米臺(tái)特點(diǎn)
    平:得益于的硬件設(shè)計(jì),有效地減少三維偶聯(lián)影響,保證納米臺(tái)全行程的平整度。

    準(zhǔn):電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法,保證納米臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。

    穩(wěn):優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及優(yōu)良的電容傳感器特性,保證了納米臺(tái)長時(shí)間的穩(wěn)定性。

     

    NS-X20-01X軸納米定位臺(tái)典型應(yīng)用:

    顯微成像光學(xué)移相生物材料分析光學(xué)光柵刻寫光學(xué)對(duì)準(zhǔn)測量激光領(lǐng)域半導(dǎo)體加工。

     

    納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種*行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移,整個(gè)系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺(tái)、控制器和控制軟件。

     

    納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。

     

    控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。

     

    三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對(duì)外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(hào)(-10V~10V)控制納米位移臺(tái)的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。

     

    如有客戶需求,三英可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。

    納米定位平臺(tái) 納米位移臺(tái) 柔性鉸鏈平臺(tái) 電控位移臺(tái) 高精度電控位移臺(tái) 精密滑臺(tái) 壓電平臺(tái) 壓電納米臺(tái) 納米壓電平臺(tái) 納米定位臺(tái) 壓電柔性鉸鏈平臺(tái) 壓電掃描臺(tái) 壓電定位臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超低溫納米定位臺(tái)

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    型號(hào)

    NS-X20-01

    運(yùn)動(dòng)軸

    X

    傳感器類型

    電容式

    閉環(huán)行程( μm )

    20

    閉環(huán)分辨率( nm)

    0.1

    線性度( % )

    0.03

    無負(fù)載下諧振頻率( Hz )

    5000

    端口

    D-sub15

    材料

    鋁合金

    負(fù)載( kg )

    1

    自重( kg )

    0.08

    尺寸( mm )

    40 x 54 x 15.5

    適配控制器

    SC100-A/SC300-1/SC400-1

    注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。

     

    NS-X20-01尺寸圖

     

     

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