NST納米劃痕儀 返回列表頁

NST納米劃痕儀

儀器簡介：

納米劃痕測試儀(10uN - 1N) 

可以測試薄膜和基底的臨界附著力，劃痕深度、劃痕寬度、凸起高度以及材料的粘彈性恢復等力學性能。可以進行微拉伸實驗。可實時記錄摩擦力及摩擦系數的變化，以及用于納米磨損測試。

瑞士CSM的納米劃痕儀主要用于界定膜基結合強度與薄膜抗劃痕強度，適用的薄膜厚度一般低于800納米。納米劃痕儀可以用于多種薄膜材料的檢測分析，例如單層或多層PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性涂層等等。基體可以為軟質或硬質材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物、以及有機材料等。

NST納米劃痕儀
技術參數：

劃痕測試單元：

劃痕正向力載荷 ?10uN-1N 
大摩擦力 1N（或200mN） 
摩擦力分辨率 6uN（或300nN） 
大劃痕深度 ?200 um 
大劃痕長度 ?120mm 
劃痕速度 0.4-600mm/min，連續可調 

高質量金相顯微鏡系統 ：
配有高分辨率的彩色CCD和與之匹配的圖形采集系統 
配有5X，20X、和100倍的物鏡鏡頭，大屏幕上放大倍率4000倍 
在不拆卸、更換鏡頭的情況下，通過轉塔可以在不同倍率鏡頭間切換使用 
采用LED光源系統 
軟件控制光源系統的亮度和聚焦 
點擊鼠標即可實時存取試樣表面的光學圖像 
全自動連續景深成像（Multifocus） 
全景成像模式（Panorama模式，對劃痕） 
雙顯示器，一個用于測試模塊的軟件控制，一個用于光學圖像采集、觀察 
配有成像分析軟件：具有長度標尺，可以測試或顯示光學圖像中任意兩點坐標，水平距離、垂直距離、直線距離

XYZ三方向全自動試樣臺（以CPX納米力學平臺為例）：

X方向移動范圍： ?120mm 
Y方向移動范圍： ?70mm 
有效工作面積： ?70mmX20mm 
定位分辨率： ? 0.1um 
定位精度： ? 1um 
Z方向自動移動范圍： 30mm 
分辨率：10nm 
XYZ三方向移動控制：鼠標控制、鍵盤控制及操縱桿控制

主要特點：

高精度、高重復性精密納米劃痕測試系統 
具有有源力學反饋系統校正樣品形貌帶來的法向力變化 

實時記錄正向力、摩擦力、摩擦系數隨劃痕距離的變化 
具有前掃描、后掃描模式 
往復劃痕模式（磨損模式） 
全自動多點劃痕模式、陣列劃痕模式 
恒力劃痕、漸進力劃痕及臺階增力劃痕模式 
全自動連續景深成像
全景成像模式, 成像長度不低于30mm 
劃痕的光學圖像和劃痕位置實時一一關聯對應 
鼠標移動至任意劃痕位置時，可以顯示并讀取該點對應的正向力、摩擦力、位移深度數值 
鼠標移動至任意劃痕位置時，可以觀察到該點對應的光學圖像 
點擊鼠標可以自動定義并記錄臨界載荷以及該點對應的摩擦力、聲發射、位移深度數值 
計算和顯示單個試樣不同位置劃痕的臨界載荷及其對應的聲發射、摩擦力、位移深度的平均值和誤差； 
任意多條劃痕曲線同時顯示、或求平均
預約或定時實驗功能 
壓頭使用次數自動統計功能 
對儀器硬件或測試功能具有用戶不同等級權限設定(密碼保護)功能 
自動測試報告生成功能 
多語言切換（如中文、英文、德文、日文、法文等） 
 

選件

客戶可以根據經費和實際需求選擇CPX或OPX納米力學平臺），在此基礎上可以選擇CSM公司其它的力學測試模塊如UNHT（超納米壓痕模塊），NHT（納米壓痕模塊），MHT（微米壓痕模塊），MCT（微米綜合力學測試模塊），原子力顯微鏡模塊等，以構建自己需要的微納米力學綜合測試系統

多種金剛石劃痕針頭選擇（曲率半徑2um,5um,10um等，錐角60度，90度等） 

真空、濕度與溫度控制選件

集成原子力顯微鏡或共焦顯微鏡三維成像