賽默飛在線氣體質譜儀是通過對樣品離子質荷比的測定來分析其組成的一類儀器。是定性和定量分析的有用工具。同紅外光譜大致相同，碎片圖表示分子的“指紋印”，并幫助識別和收集各種結構和鍵能的資料。試樣必須是氣體，或者是能揮發的物質。通常，多元混合物易于分析。

　　質譜分析法是以電子轟擊或其它的方式使被測物質離子化，形成各種質荷比（m/z）的離子。利用不同離子在磁場或電場的運動軌跡不同，把離子按照質荷比分開而得到質譜圖，從而得到樣品的分析結果。基于這個原理，在線質譜儀的分析速度非常快，可達到ms級，因此特別適合快速反應過程以及多位點的同時監測。賽默飛在線氣體質譜儀工作流程為：氣體樣品→進樣系統→離子源→質量分析器→離子檢測器→數據處理及控制系統，離子源、質量分析器、離子檢測器必須在真空下工作（10–4pa)。

　　它結合創造性的新特征和經過實踐驗證的成熟的同位素質譜技術，是多接收靜態惰性氣體質譜邁進的重要一步。專為微量樣品稀有氣體分析而設計的高分辨磁質譜，可實現氖、氬、氪、氙惰性氣體中任何五個同位素的同時檢測。該系統可測量氖、氬、氪和氙的同位素。同時多達5個同位素的多接收測量無需跳峰，減少了分析時間，獲得了更高的精度和產出效率；賽默飛在線氣體質譜儀可以進行跳峰測量，如氦同位素；標準分辨率接收器>750(10%峰谷)能夠解決標準碳水化合物干擾，而>1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能夠使得很多科學問題得到解決。