便攜式電阻率測試儀用于測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的儀器。
儀器按照半導體材料電阻率的測試方法要求。儀器是由電器測量部份（主機）及四探針頭組成，需要時可加配測試架。
儀器用一塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流是由恒流源提供，可進行校準，儀器可用于分選材料及產(chǎn)品檢測。對1～100Ω·cm樣片的測量誤差＜±3%。
規(guī)格參數(shù)：
測量范圍：
測量電阻率：0.01～199.9Ω·cm
測方塊電阻：0.1～1999Ω/□
被測材料電阻率：≥200Ω·cm
數(shù)字表顯示：0.00
恒流源：
直流輸出電流：0.1mA～10mA分兩檔
0.1～1mA連續(xù)可調(diào)
1mA～10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度：±0.1%
直流數(shù)字電壓表
測量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μV
準確度：0.2%（±2個字）
供電電源：AC 220V ±10%，50z/60Hz
功率范圍：8W
相對濕度：≤80%
便攜式電阻率測試儀/方阻測試儀
