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    高頻光電導壽命測試儀原理

    時間:2021/10/22閱讀:192
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    τ:10~6000μs,ρ>3Ω·cm ,配數字示波器
    用于硅、鍺單晶的少數載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊體形無嚴格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體內重金屬雜質污染及缺陷存在的情況,是單晶質的重要檢測項目。
    設備組成
    1.光脈沖發生裝置:
    重復頻率>25次/s
    脈    寬>60μs
    光脈沖關斷時間<1μs
    紅外光源波長:1.06~1.09μm(測量硅單晶)
    脈沖電流:5A~20A
    如測量鍺單晶壽命需配置適當波長的光源
    2.高頻源:
    頻    率:30MHz低輸出阻抗
    輸出功率>1W
    放大器和檢波器:
    頻率響應:2Hz~2MHz
    3.配用示波器:
    配用示波器:頻帶寬度不低于10MHz,Y軸增益及掃描速度均應連續可調。
    測量范圍:
    可測硅單晶的電阻率范圍:ρ≥0.1Ω·㎝(歐姆·厘米)
    壽命值的測量范圍:5~6000μs(微秒)

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