PAO檢漏
過濾器檢漏目的
在潔凈室中，過濾器是實現(xiàn)高潔凈度空氣凈化的關(guān)鍵設(shè)備。100000 級以上潔凈度級別的潔凈室普遍采用過濾器（HEPA)，確保潔凈室生產(chǎn)環(huán)境達到生產(chǎn)所需要求，防止粒子污染。
過濾器檢漏標準
在2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定，由過濾器下風側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格，其合格標準如下。對于過濾器
k’=1-η
k=c2/c1
k’表示過濾器的額定透過率
η表示過濾器的額定效率；
k表示過濾器的實際泄漏率；
c1表示未通過過濾器上游煙霧濃度；
c2表示通過過濾器后下游煙霧濃度。
規(guī)范規(guī)定，過濾器的實際泄漏率不得大于額定透過率的2倍,即k≤2 k’。
過濾器檢漏所用儀器
檢漏所需儀器為氣溶膠光度計和氣溶膠發(fā)生器。
檢漏跟據(jù)所用發(fā)霧介質(zhì)DOP油、PAO油又稱為DOP檢漏、PAO法檢漏。其中因為懷疑DOP的致癌性，所以已經(jīng)棄用。
檢漏根據(jù)發(fā)煙的不同分為冷發(fā)和熱發(fā)。
熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特 定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下 0.3um 左右的霧狀 DOP 進入風道。因為發(fā)霧量大，主要用于送風量大于10000風量以上的空調(diào)機組發(fā)霧，使用送風口上沒有檢測口和發(fā)霧口的老廠房。
冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng) laskin 噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài) 的多分散相 DOP 氣溶膠，發(fā)入送風口。因為發(fā)霧量小，主要用于送風量小于10000風量的單個送風口、工作臺、生物安全柜等檢測。
檢漏送風口結(jié)構(gòu)發(fā)霧口上留有散流板和散流口，發(fā)進去的煙霧能更均勻，同時確保檢測口能檢測到濃度
氣溶膠發(fā)生器的選擇
如果送風口上全部都沒有發(fā)煙口與檢測口，或機組風量大于1萬，選擇熱態(tài)發(fā)煙。
如果有檢測口和發(fā)霧口時，冷態(tài)熱態(tài)都可以。
