真空步進伺服電機位移臺， 真空步進伺服電機位移臺， ， ，
真空直線平臺：
真空步進電機絲桿平臺, 真空電機直線滑臺, 真空直線平臺,真空滾珠絲杠平臺
雙軸真空絲杠平臺，三軸真空絲桿直線平臺
AML的超高真空直線絲桿平臺提供長行程，具有zui小高度可以負荷達10kg，他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導軌在簡單的復合機制中是有用的扭轉載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料，動力使用AML的耐高真空步進電機步進電機。直線運動由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合，精密研磨以保證良好的精度并將預緊絲杠位置穩定性消除齒隙。
真空平臺指標
行程25-250mm , 每步的分辨率可以達到1u，零間隙，高剛性結構，負載可以達到50kg。可以直接搭載XYZ運動平臺。真空度范圍是：10^10mbar以內。使用交叉滾珠導軌運動，使運動精度更高。
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