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SF6氣體回收裝置的參數，SF6氣體回收充放裝置技術方案表：
型 式 冷凍液化，真空水冷，移動式
工作環境溫度 -10℃～40℃
回收 初壓力(Mpa) 0.8
終壓力(Mpa) ≤0.05
1m容積所需時間(h/m) ≤1
充氣 初壓力(Pa) ≤133
終壓力(Mpa) 0.7
1m容積所需時間(h/m ) ≤0.3
抽真空從0.1MPa至133Pa需時間 (h/m ) ≤0.7
極 限 真 空 (Pa) ≤10
回收后SF6
氣體純度（50KG） 水分(PPM/V) ≤60
SF6氣體回收裝置油分(PPM/W) ≤5
塵埃(um) ≤1
貯 貯存方式 氣液態
存 壓力(MPa) 4.0
容 容積(L) 80
器 貯液量(kg) 80
液化方式 冷凍液化
汽化方式 電加熱
干燥過濾器再生方式 真空加熱活化再生
電源 三相 3Φ 380V有零線
總功率(kW) ≤8
噪聲dB(A) ≤75
SF6氣體回收裝置外形尺寸(mm) 1400mm×1000mm×1000mm
設備自重(kg) ≤680KG
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