質量流量控制器 質量流量計 返回列表頁

編號

項目

S48 28/HMT

1

流量規格

(100,150,200)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

5%～

6

流量測量范圍

0～

7

響應時間

2s（T98，設定值的±2% F.S.）

8

工作環境溫度

5℃～50℃

9

精度保證溫度

15℃～35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa

14

耐壓

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s （He）

16

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

17

管路接頭

Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″

18

供電電源

±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA

+24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供電時)

19

設定信號

(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ

4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）

20

流量輸出信號

(0～5)VDC 負載能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

2.8