勻膠機/旋轉涂層機LDX-TA-280Q的說明書

產品簡介：

主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。

適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。

可在科研，教育，生產中應用。

"spin coater " 行業稱：勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉涂膜機 旋涂機

產品型號：

TA-280Q勻膠機　 工作主機獨立且可臺面嵌入式安裝，控制器分置。

TA-280Q勻膠機： 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

主要特點：

*高精度26程序控制器：

可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程；

每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態；

加速度（及負加速度），可設置。

中英文兩套操作系統供選擇。

操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調試并存儲程序。

設置程序：標準通用符號，6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。

無需培訓，上手就會操作。

*可連接滴膠機，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復定量滴膠。

的重復的自動控制操作，是人工不可能及的。

*工作腔可氮氣保護。

我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計，對所有的環境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，

這一點*針對科研實驗的苛刻要求而開發。

*真空吸片，爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。

*中心結構定位：圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。

主機標準配備一片真空吸盤即可滿足（TA-280適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。

小于3英寸可使用定制真空吸盤。

*卡盤，吸盤品種豐富，適應各種需要。

*真空吸片系統更安全：

安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度，必須在安全的真空度下，

電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統保護性停機。

*伺服電機，轉速精度更高：300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 % Z高轉速10000轉/分

*設備所用的天然聚丙烯（NPP）材質，食品級衛生材料，易清潔，材質性能穩定，綠色環保型實驗室的Z佳選擇。

技術參數：

單相交流電源：220V.50Hz

電機功率：200W

轉數：300 - 10000 轉/分。

可設定時間：1---9999秒。

標準包裝：尺寸： 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,

可選配件

1. 特殊真空吸盤
2. 各種卡盤

3. 60升/分無油真空泵

4．滴膠機