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    北京恒奧德儀器儀表有限公司


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    四探針測試儀GSZ-RTS-4GSZ-RTS-4

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    具體成交價以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號GSZ-RTS-4

    品       牌

    廠商性質生產(chǎn)商

    產(chǎn)品資料下載

    所  在  地北京市

    聯(lián)系方式:王蕊查看聯(lián)系方式

    更新時間:2025-07-05 17:46:57瀏覽次數(shù):145次

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    產(chǎn)品簡介

    四探針測試儀GSZ-RTS-4GSZ-RTS-4
    GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
    儀器由主

    詳細介紹

    四探針測試儀GSZ-RTS-4GSZ-RTS-4
      四探針測試儀GSZ-RTS-4GSZ-RTS-4

     

    GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
        儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
        儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
        本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
    GSZ-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
        測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
    技術參數(shù):

     

     測量范圍

     電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展);  
     方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展);
     電導率:0.005~1000 s/cm;
     電阻:0.001~200Ω.cm;

    可測晶片直徑

     140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
     200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
     400mmX500mm(配S-2C型測試臺);

    恒流源

     電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調

    數(shù)字電壓表

     量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
     分辨力:10μV;
     輸入阻抗:>1000MΩ;
     精度:±0.1% ;
     顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

    四探針探頭基本指標

     間距:1±0.01mm;
     針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
     機械游移率:≤0.3%;
     探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
     探針壓力:5~16 牛頓(總力);

    四探針探頭應用參數(shù)

     (見探頭附帶的合格證)

    模擬電阻測量相對誤差
    ( 按JJG508-87進行)

     0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

    整機測量大相對誤差

    (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

    整機測量標準不確定度

     ≤5%

    計算機通訊接口

     并口

    標準使用環(huán)境

     溫度:23±2℃;
     相對濕度:≤65%;
     無高頻干擾;
     無強光直射;

     


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