便攜式四探針測試儀/四探針檢測儀/電阻率檢測儀 型號:HAD-TS-2
測量范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的便攜式設(shè)計
體積僅為：125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)
HAD-TS-2/TS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。如有需要可加配測試臺使用。
本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶（多晶）生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試，半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
技 術(shù) 指 標(biāo) ： |
便攜式四探針測試儀按測量范圍可選配HAD-TS-2型或HAD-TS-2A型，區(qū)別：測量范圍不一樣。 |
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HAD-TS-2測量范圍 | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□； | HAD-TS-2A測量范圍 | 電阻率：0.001～199.99Ω.cm；
方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□； | HAD-TS-2恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) | HAD-TS-2A恒流源 | 電流量程分為1mA、10mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測量大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% | 外型尺寸 | 125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深) | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射； |
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