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一、真空濾油機氣體含量（主要檢測乙炔含量），通常情況下，變壓器油只有在遇到高溫裂解或局部出現放電才會產生乙炔，使油液中乙炔含量增加；但另一種情況就是當變壓器油通過齒輪油泵后高速在PVC管中流動時產生靜電，亦可使變壓器油液產生乙炔氣體，使油中乙炔氣體含量增加，在這種情況下則需要改普通齒輪油泵為柔性油泵；另外將PVC油管變為不銹鋼管或鍍鋅管亦可防止靜電的產生。
二、真空泵抽不到的極限真空度
當該故障發生時，應當首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次，應當打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右，來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。
在排除以上兩個因素后，引起真空泵抽不到極限真空度的主要原因有以下幾個方面：泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形，磨損或損壞，也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門；長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時更換排氣閥門。
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