型號

SURFCOM 1800D

表面粗糙度評價

輪廓形狀評價

測量范圍

Z軸（縱向）

800mm

50mm

X軸（橫向）

100mm(-22系統為200mm)

100mm(-22 系統為200mm)

精度

Z軸指示精度（縱向）

—

±0.25%全量程（但是5mm范圍±4µm以下）

測量分辨率

—

0.1µm /±2.5mm/0.4µm /10mm/1µm /±25mm

X軸指示精度（橫向）

—

±(1+2L/100) µmL:測量長度（mm）

測量分辨率

—

差動電壓

直線度精度

（0.05+1.5L/1000）mm L=測量長度(mm)

摩爾干涉光尺

測量方式

Z軸（縱向）

差動電壓

點/直線/圓/部分圓/橢圓/點/最小點、距離、坐標差、極坐標差、直交/極坐標差表示

交叉要素點直線、直線直線、圓直線、圓圓、直線、橢圓、

對稱要素（點點、點-圓、點-橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓）

坐標控制（原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動。

計算結果與設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄、回放功能

X軸（橫向）

摩爾干涉光尺

—

處理功能

參數/運算處理

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO、DIN、ASME，符合CNOMO標準

Ra,Rq,RvRp, ,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz,J,R3z,Sm,S,RDa,RDq,Rla,Rlq,Til TA,lr,Pc,Rmr,tp2,Rmr2,Rdc AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR

—

評價曲線

剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線（Motif）、波紋度中心曲線（Motif）包絡波紋度曲線

—

表面特性圖表

負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線

0.1¬10,000.00倍（可以為任意、自動）

傾斜補償

直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償（直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內）

0.1¬10,000.000倍（可以為任意、自動）

記錄

縱倍率

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K*、500K*倍 任意、自動

—

橫倍率

1、2、5、10、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 任意、自動

—

濾波器的種類

標準型濾波器（2RC）、相位補償型濾波器（2RC）、

相位補償濾波器（高斯濾波器）

濾波值

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8 、25mm(7級)任意

速度

立柱上下移動速度Z軸

3mm/s

測量速度（X軸）

0.03、 0.06、0.15、 0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速)

測針

交換式

交換式

測量力

0.75mN

30mN以下

測針半徑

2mR

25mR

測針材料

金剛石

超硬合金

測量進給方向

—

拉 推兩方向

測量姿勢

—

上下兩方向

各要素

電源

AC 100V±10% 單相50/60Hz

耗電量

380VA

設置尺寸