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廢水好氧生物處理方法的實質是利用電能的消耗來達到改善廢水水質的一種技術措施，因此能、低能耗的厭氧廢水處理技術在近代廢水處理技術中得到了的，厭氧生物處理法了較大的發展。厭氧消化工藝由普通厭氧消化法演變發展為厭氧接觸法（厭氧活性污泥法）、生物濾池法、上流式厭氧污泥床反應器（UASB）、厭氧流化床、復合厭氧法等，其中普通消化池法、厭氧接觸法等為代厭氧反應器，生物濾池法、UASB、厭氧流化床等為二代厭氧反應器，隨著厭氧技術的發展，由UASB衍生的EGSB和IC（內循環）厭氧反應器為三代厭氧反應器。
EGSB相當于把UASB反應器的厭氧顆粒污泥處于流化狀態，而IC反應器則是把兩個UASB反應器上下疊加，利用污泥床產生的沼作為動力來實現反應器內混合液的循環。
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