氦質(zhì)譜檢漏儀ZLS-25D/M、ZLS-25D/T
產(chǎn)品簡介：
ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀是一種全功能氦質(zhì)譜檢漏儀，與我廠生產(chǎn)的擴散泵型儀器相比，采用了德國萊寶的渦輪分子泵作儀器的高真空機組，優(yōu)化了真空系統(tǒng)及控制閥門的設(shè)計，顯示部分采用了嵌入式工控計算機，微機系統(tǒng)控制。適用于生產(chǎn)線上對大批量零件的檢漏（噴氦法或背壓法），也可用吸槍作吸氦法檢漏。
主要特點：
1.1微機系統(tǒng)控制，人機對話方式操作
1.27英寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，
漏率直讀，四種常用漏率單位轉(zhuǎn)換
1.3自動掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
1.4動態(tài)清除本底
1.5檢漏過程曲線顯示
1.6檢漏數(shù)據(jù)保存功能
1.7聲訊報警，報警點可程序設(shè)置
1.8自帶一套輔助系統(tǒng)，可作噴氦法、吸氦法和背壓法檢漏
1.9進(jìn)口渦輪分子泵
觸摸式液晶顯示屏
主要技術(shù)參數(shù)：
2．1儀器zui小可檢漏率：優(yōu)于5×10-12Pa·m3／s
2．2儀器的反應(yīng)時間：不大于3s
2．3儀器質(zhì)譜室允許工作的zui高壓強：1×10-2Pa
2．4儀器測試口允許工作的zui高壓強：1000Pa
2．5被檢件由粗抽至檢漏的自動切換點（檢漏點）可調(diào)范圍：40～10-1Pa
主要部件配置：
3．1渦輪分子泵德國萊寶1臺
3．2前級泵國產(chǎn)1臺
3．3粗抽泵國產(chǎn)1臺
3．4質(zhì)譜分析室1套
3．5校準(zhǔn)漏孔（帶檢定證書）1支
