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    技術文章

    高性能勻膠機TA-280 旋涂儀 旋轉涂層機 技術資料

    閱讀:78發布時間:2016-11-4

    高性能勻膠機TA-280 旋涂儀 旋轉涂層機

     

     

    產品簡介:TA-280高性能勻膠機旋涂儀     

    主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。

          TA-280高性能勻膠機旋涂儀 適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。

          TA-280高性能勻膠機旋涂儀 可在科研,教育,生產中應用。

      

    產品型號:

          TA-280勻膠機 

          TA-280勻膠機: 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

    主要特點:

     *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 高精度26程序控制器:

         可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程;

         每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;

         加速度(及負加速度),可設置。

         中英文兩套操作系統供選擇。

        操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調試并存儲程序。

        設置程序:標準通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。

        無需培訓,上手就會操作。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。

        的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 工作腔可氮氣保護。

        我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計,對所有的環境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,

        這一點*針對科研實驗的苛刻要求而開發。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 中心結構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。

        主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。

        小于3英寸可使用定制真空吸盤。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片系統更安全:

        安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,必須在安全的真空度下,

        電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統保護性停機。

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 伺服電機,轉速精度更高:300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 % zui高轉速10000轉/分

    *TA-280高性能勻膠機旋涂儀 設備所用的天然聚丙烯(NPP)材質,食品級衛生材料,易清潔,材質性能穩定,綠色環保型實驗室的選擇。

    技術參數:

            單相交流電源:220V.50Hz

            電機功率:200W

            轉數:300 - 10000 轉/分。

            可設定時間:1---9999秒。

    標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高 ,


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