射頻電源（固態RFG-600型）
產品簡介
RFG-600型固態射頻電源是RFG系列射頻電源之一，可以產生固定頻率、具有一定功率的射頻正弦波。
產品主要特征：
采用MOSFET功率放大器,開機無需預熱
精密功率控制,zui低可實現1W的穩定功率輸出
面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制
漏電保護,過載保護,過熱保護,駐波保護
具有外部時鐘同步(CEX)功能
射頻末級效率85%,整機效率70%以上
適用場合
半導體工藝、科學實驗中的等離子體發生；感應加熱；醫療等等。
電氣參數 | 指標 | |
輸出功率 | 1W-600W連續可調，正反向功率真彩色LCD智能顯示 | |
射頻末級效率 | ≥85％（600W輸出時） | |
功率穩定度 | ≤±0.5％(額定功率輸出時) | |
頻率穩定度 | ±10ppm | |
承受zui大反射功率 | 120W | |
zui大輸出功率裕度 | 20% | |
頻率信號 | 13.56MHz標準正弦波 | |
整機效率 | ≥70% | |
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控制信號與后面板電氣連接
描述 | 說明 |
模擬口 | 15針D型（陰性）（選配） |
串口 | RS232/RS485/USB通訊協議（選配） |
外部時鐘同步（CEX） | BNC(陰性) |
射頻輸出口 | 標準同軸接頭輸出（M/N型，陰性） |
交流供電口 | AC220V供電（50/60Hz） |
冷卻方式 | 強制風冷 |
機械尺寸
描述 | 說明 |
體積 | 140mm(H)X270mm(W)X400mm(D) |
重量 | 15kg |
前面板指示 | 4.3寸TFT真彩數字屏（16：9），分辯率480X272，LED背光，純鋁旋鈕 |
前面板顏色 | 白（可根據客戶需求進行定制） |
使用環境
