射頻電源（固態(tài)RFG-1500型）
產(chǎn)品簡介：
RFG-1500型固態(tài)射頻電源是RFG系列射頻電源之一，可以產(chǎn)生固定頻率、具有一定功率的射頻正弦波。
產(chǎn)品主要特征：
采用MOSFET功率放大器,開機無需預(yù)熱
精密功率控制,zui低可實現(xiàn)1W的穩(wěn)定功率輸出
面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制
漏電保護(hù),過載保護(hù),過熱保護(hù),駐波保護(hù)
具有外部時鐘同步(CEX)功能
射頻末級效率85%,整機效率70%以上
產(chǎn)品使用場合：
半導(dǎo)體工藝、科學(xué)實驗中的等離子體發(fā)生；感應(yīng)加熱；醫(yī)療等等。
電氣參數(shù):
電氣參數(shù) | 指標(biāo) |
輸出功率 | 1W-1500W連續(xù)可調(diào)，正反向功率真彩色LCD智能顯示 |
射頻末級效率 | ≥85％（1500W輸出時） |
功率穩(wěn)定度 | ≤±0.5％(額定功率輸出時) |
頻率穩(wěn)定度 | ±10ppm |
承受zui大反射功率 | 300W |
zui大輸出功率裕度 | 20% |
頻率信號 | 13.56MHz標(biāo)準(zhǔn)正弦波 |
整機效率 | ≥70% |
控制信號與后面板電氣連接
描述 | 說明 |
模擬口 | 15針D型（陰性）（選配） |
串口 | RS232/RS485/USB通訊協(xié)議（選配） |
外部時鐘同步（CEX） | BNC(陰性) |
射頻輸出口 | 標(biāo)準(zhǔn)同軸接頭輸出（M/N型，陰性） |
交流供電口 | AC220V供電（50/60Hz） |
冷卻方式 | 強制風(fēng)冷（或水冷）（可定制） |
機械尺寸
描述 | 說明 |
體積 | 178mm(H)X483mm(W)X500mm(D) |
重量 | 19.9kg |
前面板指示 | 4.3寸TFT真彩數(shù)字屏（16：9），分辯率480X272，LED背光，28鍵鍵盤，純鋁旋鈕 |
安裝 | 前面板高為標(biāo)準(zhǔn)4U，寬為19英寸 |
前面板顏色 | 白（可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制） |
使用環(huán)境
描述 | 說明 |
環(huán)境溫度 | 0-40℃ |
相對濕度 | <85% |
