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CD1000 等離子表面處理設備

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更新時間：2018-05-15 15:45:10瀏覽次數：475次

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北京燕京電子有限公司

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產品簡介

表面清洗，活化，蝕刻，改性

詳細介紹

反應艙	材料：鋁有效尺寸：700 x 700 x 1000mm 容積：490L 艙門：裝有可視窗口托盤：8個尺寸：591 x 697 x 40mm
真空度測量	皮拉尼真空計
真空泵	旋片初級真空泵和480m³ /h的機械增壓泵
頻射發生器	0~2500W可調。KHz發生器
控制系統	PLC可實現下列功能： l 自動控制反應過程； l 根據處理材料設定不同的處理工藝參數； l 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標； l 監測所有的運行指標，保證各項參數在設定范圍之內； l 設定操作、維護密碼。
電源	380V AC, 三相，50Hz, 40A
反應氣體	一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）
氣體輸入	直徑1/4英寸（6.35mm）管道；輸入壓力：1Bar
尾氣排放	直徑38mm 輸出端口
安全性能	急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認證。