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    北京燕京電子有限公司


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    SR300 光譜反射薄膜測厚儀

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    參  考  價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號SR300

    品       牌

    廠商性質(zhì)代理商

    所  在  地北京市

    聯(lián)系方式:趙先生查看聯(lián)系方式

    更新時間:2018-05-15 15:45:10瀏覽次數(shù):443次

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    經(jīng)營模式:代理商

    商鋪產(chǎn)品:30條

    所在地區(qū):北京北京市

    聯(lián)系人:趙先生 (市場部)

    產(chǎn)品簡介

    測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

    詳細(xì)介紹



    基本功能

    1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

    2,實現(xiàn)薄膜均勻性檢測

    3,實現(xiàn)反射、投射以及顏色測量

    產(chǎn)品特點

    l  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫;

    l  簡便、易行的可視化測試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);

    l  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測試;

    l  支持多功能配件集成以及定制;

    l  支持不同水平的用戶控制模式;

    l  支持多功能模擬計算等等。

    系統(tǒng)配置

    l  型號:SR300

    l  探測器: 2048像素的CCD線陣列

    l  光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?/span>

    l  光傳送方式:光纖

    l  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm的大小

    l  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件

    l  通訊接口:USB的通訊接口與計算機(jī)相連

    l  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

    l  電腦硬件要求:P3以上、zui低50 MB的空間

    l  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

    l  保修:一年的整機(jī)及零備件保修

    規(guī)格

    l  波長范圍:400nm到1100 nm

    l  光斑尺寸:500μm至5mm

    l  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm

    l  基板尺寸:zui多可至50毫米厚

    l  測量厚度范圍*:2nm?50μm

    l  測量時間:zui快2毫秒

    l  精確度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

    l  重復(fù)性誤差*:小于1 ?

    可選配件項

    l  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) ??

    l  zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP300)

    l  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR300xX)

    l  在超過200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測繪(SRM300-200/300)

    應(yīng)用領(lǐng)域

    主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

    l  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

    l  半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

    l  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

    l  醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

    l  油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

    l  醫(yī)藥,中間設(shè)備

    l  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

    l  半導(dǎo)體化合物

    l  在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

    l  非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

     



    關(guān)鍵詞:通訊接口 橢偏儀

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