CCZK-SF系列高速反應磁控濺射鍍膜機——馳誠
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CCZK-SF系列高速反應磁控濺射鍍膜機——產品信息
產品概述：
馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜機是一種普適鍍膜機，用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜，亦可鍍鐵磁材料。主要用于實驗室制備有機光電器件的金屬電極及介電層，以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。本系列設備具有運行平穩、收放鍍膜平齊、膜層均勻、生產周期短、能耗低、操作維護方便、性能穩定等特點。 主機控制采用可編程序控制器（PLC）+觸摸屏（HMI）組合電氣控制系統。智能控制。
產品特點：
本設備zui大特點是具有通過高速反應濺射技術，生長高性能氧化物薄膜能力。在本設備中集成了中頻電源技術、直流脈沖電源技術、高能脈沖電源技術、射頻電源技術等手段進行氧化物薄膜的反應濺射高速生長，并通過PEM及靶電壓監控技術，有效進行氧分壓控制，使氧化物薄膜高性能、高速沉積。設備也支持常規的直流濺射方式生長金屬薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、附著力，設備具有濺射速率快、基片升溫低、加熱穩定等特點。
產品采用全自動控制方式，使工藝重復性、穩定性、可靠性得到有效保證，從而獲得穩定的薄膜生長速率，并能對薄膜生長特性施加控制。設備的數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發和生產平臺。
產品應用：
可鍍膜各種玻璃材質，配多只多弧靶及矩形磁控靶，可鍍仿金色/亮灰色/槍黑色/玫瑰金/咖啡色/各金屬色等流行色。
2.廣泛應用于手機外殼、衛浴潔具、五金飾品及標牌等鍍膜。
亦可濺射塑料制品、陶瓷、馬賽克、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產品、建材等行業。
產品參數：
馳誠CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備 | 真空結構 | 可定制立式，箱體式，圓筒式腔體 | 襯板 | 0.6mm鑲嵌不銹鋼 | 工件旋轉系統 | 行星公自傳，根據濺射基片合理設計旋轉結構 | 極限真空（空載、清潔） | 8.0×10-5Pa | 抽氣時間
(空載、干凈容體） | 5.0×10-2Pa≤5min | 磁控電源 | 可配備直流或中頻磁控濺射電源，采用三石研究所產品 | 真空獲得系統 | 擴散泵或分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵(可選深冷泵配置） | 磁控靶材 | 可配備平面靶，圓柱中心靶，孿生靶，實現單靶或多靶濺射，因基片設計而不同 | 濺射速率 | 因基片材料，工藝而不同 | 可濺射膜層 | 可濺射單層膜，或多層膜 | 氣體控制 | 配備七星華創氣體流量控制儀和氣體流量閥 | 報警及保護 | 對缺水、過流過壓、斷路、聲光等異常情況進行報警，并執行相應保護措施。 | 智能控制 | 全彩觸控屏+可編程PLC控制（可實現邏輯自動，半自動，手動控制） | 其他技術參數 | 水壓0.2～0.3MPa、水溫≤25℃、氣壓0.5-0.8MPa | 備注 | 鍍膜設備的具體配置可根據客戶的鍍膜產品工藝要求進行設計。 |
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CCZK-SF系列高速反應磁控濺射鍍膜機——廠家信息
溫州馳誠真空機械有限公司
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