廣州奧普士光電有限公司
Expose Steppers ★廣泛應用于微電機、LED、微電子等行業 ★寬程聚焦、點對點校正 ★尼康超級鏡頭實現1μm分辨率 ★校直系統精度≤0.3μm ★良好人機界面,操作簡便
解析度:≤2.0μm
鏡頭-NA:0.2/0.16
露光范圍:15mm×15mm
露光用波長:405nm
校直系統精度:≤0.3μm
試料尺寸:2"-6"
露光量:可達100個試料/小時
尺寸:1150×1940×2080mm
重量:1750kg
聚焦
應用:
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