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Instec 圓形高低溫晶元夾盤系統(tǒng)

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號HCCx0xR

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地國外

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更新時間：2018-04-29 15:35:26瀏覽次數(shù)：479次

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上海恒商精密儀器有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：42條

所在地區(qū)：上海上海市

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產(chǎn)品簡介

Instec高低溫晶元夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

詳細(xì)介紹

Instec高低溫晶圓夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

圓形夾盤

高低溫晶圓夾盤系列

功能特點(diǎn)

可編程精密控溫

超低的盤面溫度梯度

獨(dú)立的上盤面真空氣槽，用于固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺

支持頂桿孔

三軸（可選），用于防漏電

卡盤臺面不接地

下盤面真空吸氣槽（可選）

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

技術(shù)參數(shù)

溫度分辨率	0.001℃(at 100℃)
溫度穩(wěn)定性	±0.05℃(at 100℃)
溫度均勻度	±0.1℃/cm可升級均勻性
zui小控溫速度	±0.1℃/小時
傳感器/控制算法	100Ω鉑質(zhì)RTD PID控制可選線性直流電源
表面光滑度	10 µm(常溫下)
*注：1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時的表現(xiàn)，液氮泵型號不同，制冷表現(xiàn)也會有差異，請悉知。 2、性能可變通，詳情請

結(jié)構(gòu)圖–以300mm夾盤為例

型號規(guī)格

型號(字母T表示三軸接口)	盤面尺寸	適用樣品尺寸	溫度范圍	zui大制熱速度
HCC206R/HCC206RT	150 mm	12 mm～152 mm	-100℃～200℃	+60℃/分鐘(at 100℃)
HCC306R/HCC306RT			-100℃～310℃
HCC208R/HCC208RT	200 mm	40 mm～203 mm	-80℃～200℃	+50℃/分鐘(at 100℃)
HCC308R/HCC308RT			-80℃　～310℃
HCC20CR/HCC20CRT	300 mm	95 mm～304 mm	-60℃～200℃	+30℃/分鐘(at 100℃)
HCC30CR/HCC30CRT			-60℃～310℃
*注：1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時的表現(xiàn)，液氮泵型號不同，制冷表現(xiàn)也會有差異，請悉知。 2、夾盤上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮 3、性能可變通，詳情請

高低溫晶圓夾盤常用產(chǎn)品一覽表

型號	溫度范圍1	樣品區(qū)	三軸	方形	圓形	帕爾貼制冷2
HCC206R	-100℃ to 200℃	152 mm 直徑			Yes
HCC206RT	-100℃ to 200℃	152 mm直徑	Yes		Yes
HCC306R	-100℃ to 310℃	152 mm直徑			Yes
HCC306RT	-100℃ to 310℃	152 mm直徑	Yes		Yes
HCC208R	-80℃ to 200℃	203 mm直徑			Yes
HCC208RT	-80℃ to 200℃	203 mm直徑	Yes		Yes
HCC308R	-80℃ to 310℃	203 mm直徑			Yes
HCC308RT	-80℃ to 310℃	203 mm直徑	Yes		Yes
HCC20CR	-60℃ to 200℃	304 mm直徑			Yes
HCC20CRT	-60℃ to 200℃	304 mm直徑	Yes		Yes
HCC30CR	-60℃ to 310℃	304 mm直徑			Yes
HCC30CRT	-60℃ to 310℃	304 mm直徑	Yes		Yes
HCC214S	-120℃ to 200℃	101 mm x 101 mm		Yes
HCC314S	-120℃ to 310℃	101 mm x 101 mm		Yes
HCC216S	-100℃ to 200℃	152 mm x 152 mm		Yes
HCC316S	-100℃ to 310℃	152 mm x 152 mm		Yes
HCC218S	-80℃ to 200℃	203 mm x 203 mm		Yes
HCC318S	-80℃ to 310℃	203 mm x 203 mm		Yes
HCC602	-190℃ to 600℃	35 mm x 35 mm		Yes
HCC302	-120℃ to 310℃	48 mm x 60 mm		Yes
TC102S	-25℃ to 90℃	40 mm x 40 mm		Yes		Yes
TC104S	-25℃ to 90℃	100 mm x 100 mm		Yes		Yes