F系列質(zhì)量流量計(jì)用于測量氣體的質(zhì)量流量，其測量值不因壓力或溫度的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正。對于一般的體積流量計(jì)（如轉(zhuǎn)子流量計(jì)），在相同的體積流量指示下，當(dāng)壓力、溫度改變時(shí)，其實(shí)際克分子流量會(huì)發(fā)生較大變化，而F系列質(zhì)量流量計(jì)則基本不受影響。  

    質(zhì)量流量控制器不僅能測量氣體的流量，具備流量計(jì)的功能，而且它還能控制流量，它本身具有檢測控制電路和流量調(diào)節(jié)閥，是一個(gè)閉環(huán)控制單元。用戶可以根據(jù)需要在量程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值，mfc會(huì)自動(dòng)跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上。如果希望定量地獲得流量，要求流量保持恒定或根據(jù)需要而動(dòng)態(tài)改變，或需要自動(dòng)測量 和控制流量，則質(zhì)量流量控制器是Z佳的選擇。  

    氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示，質(zhì)量流量單位規(guī)定為:sccm---標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,slm---標(biāo)準(zhǔn)升/分標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指：溫度—0℃,氣壓—101325pa(760mmhg)。因?yàn)樵跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，密度乘以體積流量就等于質(zhì)量流量，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。F系列質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器在使用過程中，無論工作氣體的溫度、壓力如何變化，它所顯示的流量總是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量。這是F系列質(zhì)量流量計(jì)的主要優(yōu)點(diǎn)。