擴散硅壓力變送器運作原理及兩種形式說明

擴散硅壓力變送器也稱為稱作壓力傳感器，具有工作可靠、性能穩定、安裝使用方便、體積小、重量輕、性能價格比高等點，能在各種正負壓力測量中得到廣泛應用。其運行原理是根據其被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷)，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。簡單步驟即為（被側介質--->傳感器--->電子線路--->輸出信號）。

擴散硅壓力變送器的兩種形式

一種是在膜片后面放一塊擴散硅，膜片受壓后擴散硅阻值改變，通過測量阻值并轉換成標準信號輸出，這種變送器壽命較低，且精度、穩定性不太好。沒有差壓類型。

另一種是將擴散硅結合在測量膜片中，組成一個電橋，以日產EJA系列為例，在雙向受力膜片上開16條槽，植入擴散硅，成型后從中挑選4個參數一致的組成電橋，工作時橋臂電阻改變，橋路輸出經轉換形成標準信號輸出。利用電橋原理可以形成*的抗漂移、抗外部干擾的能力。工作時膜片置于不同的腔室中可接受差壓、絕壓、表壓信號。這種變送器抗*力，壽命和精度指標都比較高。