鉑悅儀器（上海）有限公司武漢辦事處
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<ul id="qqie6"></ul> 鉑悅儀器（上海）有限公司武漢辦事處
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IRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的場發射掃描電子顯微鏡系列中樣品室zui大的一款,以高品質,*計算機控制,用戶友好界面為基礎的系列產品.具有很多用戶使用方便,產品質量穩定,分析高效為特點的*設計。
1. 分辨率:高真空(二次電子)1.0nm at 30kV
(背散射電子): 2.0 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍數:1 to 1000000x
3.真空系統:電子槍真空<3*10 -7Pa
樣品室/低真空7-500Pa
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流2pA—200nA
6.內部直徑: 340mm
接口數: 20+
7.樣品臺行程:（5軸馬達控制）
X=130mm——馬達控制
Y=130mm——馬達控制
Z=100mm——馬達控制
R=360°連續--馬達控制
T=-80°至+90°--馬達控制
zui大樣品高度145mm.
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