從零功耗磁敏傳感器看磁敏傳感器的發(fā)展

　　就市場占有情況來看，國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。零功耗磁敏傳感器應(yīng)用的zui大特點(diǎn)是無接觸測量。

　　1.霍爾元件

　　磁場測量，做高斯計(jì)(特斯拉計(jì))的檢測探頭。電流檢測，做電流傳感器/變送器的一次元件。直流無刷電機(jī)，用于檢測轉(zhuǎn)子位置并提供激勵(lì)信號。集成開關(guān)型霍爾器件的轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)測量。

　　2.強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件

　　位移傳感器，主要有磁尺的線性長距離位移測量。角位移傳感器，主要用語轉(zhuǎn)動角度測量，廣泛應(yīng)用于汽車制造業(yè)。脈沖發(fā)訊傳感器，主要用于流量檢測和轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)測量，如電子水表和流量計(jì)的發(fā)訊傳感器。

　　3.半導(dǎo)體磁阻器件

　　主要是InSb磁阻器件。微弱磁場檢測，主要用于偽鈔識別，脈沖測量，主要用于轉(zhuǎn)速/轉(zhuǎn)數(shù)測量。

　　零功耗磁敏傳感器的發(fā)展特點(diǎn)

　　集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)應(yīng)用于磁敏傳感器，制成集成磁敏傳感器。

　　InSb薄膜技術(shù)的開發(fā)成功，使得霍爾器件產(chǎn)能劇增，成本大幅度下降。強(qiáng)磁體合金薄膜得到廣泛應(yīng)用。各種磁阻器件出現(xiàn)，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度、高穩(wěn)定性，引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。

　　非晶合金材料的應(yīng)用。與基礎(chǔ)器件配套應(yīng)用，大大改善了磁傳感器性能。