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六甲基二硅胺烷
Hexamethyl disilylamine
Cas號 【999-97-3 】
分子式 C6H19NSi2; [(CH3)2Si]2NH;(CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.40
別名 六甲基二硅胺烷 ;六甲基二硅氮烷,六甲基二硅亞胺
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