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產品摘要: GK100擴散泵高真空機組系統是由VRD-16前級機械泵、擴散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統（復合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設備。該機組的真空度可達到5X10-3 Pa，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術、半導體設備、等離子體技術、電真空器件的......
GK100擴散泵高真空機組系統是由VRD-16前級機械泵、擴散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統（復合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設備。該機組的真空度可達到5X10-3 Pa(即0.005Pa)，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術、半導體設備、等離子體技術、電真空器件的制造及真空技術各領域。
一、機組技術參數
1、機組輸入電壓：220V/380V
2、波紋管：KF40*1000mm
3、真空擋板閥：KF40
4、機箱尺寸：600*600*600mm
二、擴散泵技術參數
| 擴散泵 | 擴散泵型號 | K150 |
| 入口直徑 | 150mm | |
| 抽氣速率L/S（對空氣） | 1000L | |
| 建議啟動壓強 | ＜10 Pa | |
| 極限壓強（Pa） | 7×10-5 | |
| 排氣口法蘭 | KF40 | |
| 功率 | 1.2KW | |
| 輸入電壓頻率（V/Hz） | 220V | |
| 環境溫度（℃） | 0～40 | |
| 前級泵型號 | FX-16 | |
| 冷卻方式 | 水冷 | |
| 冷卻水溫度（℃） | <25 | |
| 安裝方式 | 垂直 | |
| 注油量 | 0.3L | |
| 重量（公斤） | 40 | |
| 產品型號 | FFX-16 |
三、真空泵參數
| 擴散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴散泵必須要配此前級泵) | 功率 | 0.75KW |
| 電壓 | 380V | |
| 轉速 | 1450rpm | |
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | |
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 4 | |
| 極限壓強 | 4X10 -2Pa |
四、復合真空計技術參數
| 復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF |
| 電源 | 220V 55W | |
| 控制精度 | ± 1% | |
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |
ZDF型系列電阻/電離復合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規)與高真空測量電離單元(ZJ-10電離規)技術組合，以完成1×105~1×10-4Pa連續測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術參數與性能特點。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進入測量，當電阻單元測量真空度高于電離規可以開啟的真空度時，電離規燈絲自動被點亮(開啟)，并進入高真空測量，實現了從大氣壓(常壓)到高真空的自動連續測量。還增加了外設(PLC)開閉電離規功能，以實現電離規工作于真空環境，以延長電離規工作壽命。
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