| 型號 | 功率 | 爐管尺寸(mm) | 外形尺寸 | 電源電壓 | 相數 |
| RTF-PECVD-1200-60 | 3.5KW | Dia60(OD)X1400mm | 1300X420X1200 | 220V | 單相 |
加熱元件：瑞典Kanthal A1 進口電阻絲 （電阻絲可承諾保修2年）
控制方式：
采用宇電程序控溫儀表（標配）
可選配日本導電程序控溫儀表
1、30段程序控溫智能PID調節。
2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。
3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）
4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能
控溫模式：智能PID 斷偶保護和顯示:有 過溫保護:有 過流保護:有
爐膛材料：1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用*成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
控制精度：+/- 1 ℃
觸發器：移相觸發
電器：浙江正泰
可控硅：106/16E 德國西門康
溫度:1200 ℃
額定溫度:1100 ℃
升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據要求修改）
推薦升溫速率:≤10℃/ Min
熱電偶型號:K 型
加熱段長度:400mm
真空法蘭
1、為了增加抽氣速率，達到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統接口皆為KF25）
2、如用于供氣系統，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.
轉動電機功率: 40W
電動推桿功率:40W
爐子傾斜角度: -10~30度
爐管轉動速率 :采用無級變速電機 轉速可在1-25轉/min 之間可調
轉動密封方式 : 采用轉動磁流體密封
四周表面溫度:≤45℃
射頻電源（等離子體發生器）
功率輸出范圍: 0-500W
反射功率:10W
信號頻率:13.56MHZ±0.005%
噪聲:<30 dB.
冷卻方式:空氣冷卻
輸入電源:208-240V 50/60HZ
GX供氣系統主要參數
流量控制和檢測采用
D07-7C質量流量計
標準量程：采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）
工作壓力：3MP
準確度：±1.5%
氣壓降：<0.01MPa
重復精度：±0.2% F.S
路數：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭
系統工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa
工作溫度：5-45℃
壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
靜態混氣室： Dia50 X 400MM
接口： Dia6 1/4”
VS-0.1抽氣系統
電源：220V
尺寸：600X600X600
波紋管：KF25X1000mm
用該系統抽爐管真空度可達：10 -1Pa
真空擋板閥：KF25
VRD-8真空泵(方案一)
型號：VRD-8
極限分壓強：5X10-2 Pa
進排氣接口：KF25
電機轉速:1440RPM
抽氣速率:2.2L/S
電機功率:0.4KW
無油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
型號 ACP15
電源 100-240V 50/60HZ
極限分壓強 0.02 Torr
進、排氣接口 KF25
重量 25KG
氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s
抽氣速率 14 m3/h
功率 450W
電阻真空計
型號:ZDR-1
功率:25W
真空度測量范圍:0.1-10 5 Pa
電阻硅:ZJ-52T
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（選購）
型號:PCG554
輸入電壓:24V 1A DC（配有220V變壓器）
真空計接口:KF16
數字顯示:數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
產品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
重量:5 lbs
檢測氣體:可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。
是否防腐:防腐
響應時間:≤30ms
測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr.
