OTL1200-RTP單溫區四通道可調真空快速升溫雙管爐詳細介紹:
CVD系統 由供氣系統+雙管管式爐+抽氣系統 ,溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200雙管管式爐+低真空系統組成
滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統,是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長薄膜而設計,廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上,特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以進口電阻絲康泰爾(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
雙管管式爐爐底安裝一對滑軌,可用手推滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/min。為取得加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網站:
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器:
當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用*成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱,溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)
OTL1200-RTP單溫區四通道可調真空快速升溫雙管爐技術參數:
型號 | 功率 | 爐管尺寸 | 外形尺寸 | 電源電壓 |
OTL1200-RTP-80 | 3.5KW | φ80(ID73)*1460 | 1600*490*600 | 220V |
OTL1200-RTP-100 | 3.5KW | φ100(ID93)*1460 | 1600*90*600 | 220V |
控溫模式:智能PID
斷偶保護和顯示:有
過溫保護;有
過流保護:有
控制精度:+/- 1 ℃
觸發器:移相觸發
電器:浙江正泰
可控硅:106/16E 德國西門康
溫度:1200 ℃
額定溫度:1100 ℃
升溫速率:≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)
推薦升溫速率:≤15℃/ Min
熱電偶型號:K 型
加熱段長度:400mm
6、認證
7、法蘭
可調真空:通過調節真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節真空泵電機的轉速來實現雙管管式爐內真空度在10-10000Pa之間某一范圍內恒定。