三美電機將碳納米管FET應(yīng)用于生物傳感器

　　該公司展示的CNT-FET是將在硅底板上通過CVD法形成的直徑1nm單層碳納米管作為通道使用。在柵電極上預(yù)先附著特定的病毒抗體，病毒抗原接觸柵電極時與抗體結(jié)合。通過CNT-FET的閾值電壓變化把此時的柵電位變化檢測出來。病毒抗原與抗體結(jié)合時的閾值電壓的變化量高達(dá)數(shù)伏，靈敏度非常高。

　　雖然作為通道使用的、連接源極和漏極的單層碳納米管的根數(shù)控制比較困難，不過此次的生物傳感器的動作原則上與根數(shù)無關(guān)。“雖然根數(shù)不同會引起源極和漏極間的電流不同，但病毒抗原與抗體結(jié)合時的閾值電壓的變化量不依賴于根數(shù)"（三美電機解說員）。不過，1根和2根等根數(shù)少的情況****。因為單層碳納米管除了具有半導(dǎo)體的特性外，在某些情況下還會顯示出金屬的特性。而根數(shù)增多的話，表現(xiàn)為金屬特性的單層碳納米管就會增加，從而漏電流增大等，導(dǎo)致晶體管特性產(chǎn)生變化。

　　此次的CNT-FET是在半導(dǎo)體器件“接近量產(chǎn)的環(huán)境下試制的"（該公司解說員），目前開發(fā)工作已經(jīng)超越實驗階段，進(jìn)入量產(chǎn)準(zhǔn)備階段。今后，將考慮與醫(yī)療、食品領(lǐng)域的企業(yè)合作，探討作為何種性能指標(biāo)的檢測工具進(jìn)行投產(chǎn)。