中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)納米技術(shù)中心安裝數(shù)臺等離子設(shè)備

牛津儀器目前正在中國科技大學(xué)納米技術(shù)中心安裝數(shù)臺PlasmaPro等離子刻蝕和沉積設(shè)備，以促進(jìn)其在微納米技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究。中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)納米制造中心位于安徽合肥，致力于微納米領(lǐng)域的跨學(xué)科交流和基礎(chǔ)研究。

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的朱學(xué)林博士談道，“在納米科學(xué)和工程領(lǐng)域，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)擁有雄厚的背景。所屬的納米技術(shù)中心采購的牛津儀器設(shè)備包括：一臺 PlasmaPro100 ICP380硅蝕刻設(shè)備，一臺PlasmaPro80 RIE*蝕刻設(shè)備和一臺PlasmaPro100 PECVD用于二氧化硅和氮化硅。 這些設(shè)備可以批量在晶片上形成形狀各異的納米結(jié)構(gòu)，該技術(shù)在納米科技的領(lǐng)域（包括量子物理、量子信息、納米材料和納米化學(xué)）至關(guān)重要。我們之所以選擇牛津 儀器，是因為他們能提供多項技術(shù)、杰出的工藝靈活性和性能，并具備有效可靠的客戶支持，完滿足中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的需求。”

“作為的等離子刻蝕和沉積設(shè)備領(lǐng)域供應(yīng)商，牛津儀器的主要優(yōu)勢是可以提供廣泛的研發(fā)工藝和系統(tǒng)解決方案，從而成為各研究機構(gòu)的。” 牛津儀器等離子部銷售與市場總監(jiān)David Haynes博士談道，“中國科技大學(xué)的研究工作者正在突破納米科學(xué)、納米工程和納米技術(shù)的局限性，積極地創(chuàng)造新型的納米材料、結(jié)構(gòu)和芯片，非常榮幸我們 的設(shè)備能促進(jìn)這項杰出的研究工作。”



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關(guān)于牛津

　　牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國牛津，現(xiàn)已成為世界的科學(xué)儀器跨國集團(tuán)公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共 振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及的分公司或辦事處。