TKD樣品座——于透射EBSD花樣采集

牛津儀器推出一款專為TKD分析的樣品座，TKD即透射菊池花樣演示分析（Transmission Kikuchi Diffraction）技術，是用于檢測僅十幾納米尺度的EBSD分析方法，空間分辨率比傳統技術提高一個數量級。該樣品座方便用戶將超輕薄樣品放 置于SEM中并符合光學原理的衍射花樣，保證獲得*信號量。

TKD分析仍使用原有EBSD軟硬件，只是樣品更薄且經過電解拋光穿孔。由于衍射信號來自樣品下側幾個或幾十個納米厚度的區域，該技術也被稱為透射 EBSD（T-EBSD）。樣品薄區的衍射范圍較小，樣品與探測器及極靴的幾何位置是否理想是獲得有效信號的必要條件之一。因此設計專門的樣品座做TKD 分析就顯得尤關重要。

EBSD的商務，Jenny Goulden博士說：“TKD樣品座是專為超薄樣品設計，易于固定且符合光學原理。置于SEM中，即可使用AZtec EBSD系統輕松方便的實現高分辨的EBSD分析。

關于牛津

　　牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共 振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及的分公司或辦事處。