平行平晶具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤。平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。 平行平晶是用于以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面、測量儀器及測平晶量工具量面的研合性和平面度的常用工具。適用于光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用于高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。
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